本帖最后由 徐坤 于 2023-6-28 14:59 编辑
MOCVD全称是金属有机化合物化学气相沉积，是一种用来制作薄膜的方法，薄膜就是一层很薄很薄的材料，它可以用来做各种半导体器件。MOCVD的原理是把一些特殊的气体（比如含有金属的气体）送到一个高温的反应器里，让它们在一个平板上发生化学反应，就像在平板上画画一样，画出一层层的薄膜，它的反应过程如下图所示。这些薄膜可以有不同的颜色和性质，可以组合成复杂的结构，实现各种功能。MOCVD是一种比较新的方法，是在上个世纪六十年代由美国的一些科学家发明的。MOCVD可以制作很多种类的薄膜，比如我们常见的LED灯就是用MOCVD做出来的。
MOCVD要求使用很纯净的气体和很高的温度，还要有精密的设备和工艺控制，才能保证薄膜的质量和性能。MOCVD的设备主要由以下几个部分组成：
l 反应室：这是一个不会跟气体发生反应也不会被高温烧坏的容器，它是MOCVD发生的地方。反应器通常是用不锈钢或者石英做成的。 l 基座：这是一个用来支撑衬底的基座，它可以让衬底保持水平并且跟反应器壁保持一定距离。基座通常是用石墨或者石英做成的。 l 气体输运系统：这是一个用来把气体送到反应器里面并且均匀分布在平板上方的装置，它可以控制气体的流量和方向。气体喷射单元通常是用金属或者陶瓷做成的。 l 控制系统：负责材料生长过程监控、控制系统的监控界面运行、数据记录、报警记录、数据趋势图以及操作人员的人工控制功能等,信号采集、数据处理以及各种输出信号控制。 l MOCVD原位监测系统：是一种可以在MOCVD制作薄膜的时候，不打扰它，不碰它，就能看到它的情况的系统，它有两个部分，一个是硬件，一个是软件。硬件就是一些电路板和仪器，它们可以接收来自高温容器里的信号，比如温度、厚度等，然后把信号变成数字，通过网线发给电脑。软件就是电脑上的程序，它可以收到数字信号，然后把它们变成图形或表格，显示在屏幕上，让人能看懂，还可以把数据保存起来，以后再用。 l 尾气处理系统：将有毒尾气进行无害化处理，使其浓度达到规定排放标准以下。
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