目前工业上使用的是MOCVD多还是MBE多,二者各有何优缺点呢?

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查看538 | 回复5 | 2023-6-26 19:12:28 | 显示全部楼层 |阅读模式
目前生长LED、激光等固体发光源用的都是MOCVD,适合量产,成本可控;MBE一般在科研单位用的比较多,不适合大批量量产;但是在生长探测器材料的时候需要生长本征材料,一般MBE生长出来的本征会比MOCVD的要好,比如GaAs,InGaAs,InP的本征材料,究其原因是MOCVD用的是有机源,在分解生长的时候不可避免的带入杂质,影响本征材料的Hall参数;顺便一提,LPE生长出的本征材料特性比MBE的还要好,早年国内从日本进口了10几台LPE,但会用并用好的没有一个,所以没有在国内铺开,与此同时,日本人发现LPE的潜在价值,又将卖给国内的LPE高价再回收了,所以国内已经没有LPE了,现在,高品质的激光探测器一般都出自日本。




erefffff | 2023-6-29 10:05:01 | 显示全部楼层
字数太多,不看
朴璐美cn | 2023-6-29 10:05:45 | 显示全部楼层
谢谢楼主的分享,这篇文章让我受益匪浅
fhges22 | 2023-6-29 10:06:09 | 显示全部楼层
楼主你知道的太多了:)
徐坤 | 2023-6-29 10:06:40 | 显示全部楼层
火钳刘明
泰美不美 | 2023-6-29 10:07:30 | 显示全部楼层
认真阅读楼主的帖子,收获了不少知识
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