纳米加工平台提供一站式微纳加工服务

     纳米加工平台是全国规模最大、设备齐全、工艺能力先进的公共技术平台，拥有光刻、刻蚀、镀膜、封装、测试等设备300余台套，可实现4/6/8寸芯片设计、代工，以及多种单步工艺代工的完整工艺能力。

     加工平台有工艺经验丰富的技术团队100多人，基于成熟的设计及工艺团队，纳米加工平台可提供全方位的技术服务，包括MEMS、化合物半导体、各种纳米器件的设计、工艺验证、芯片小批量试制、芯片中试化量产、芯片封装方案等一站式解决方案。

     微纳代工业务：http://nff.sinano.ac.cn/

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